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Fabrication of photonic integrated circuits by DUV-induced modification of polymers

Henzi, P.; Rabus, D.G.; Wallrabe, U.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230058434
HGF-Programm 41.04.01 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk Photonics Europe - Showcasing the Age of Light, Strasbourg, F, April 26-30, 2004
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