Fabrication of photonic integrated circuits by DUV-induced modification of polymers

Henzi, P.; Rabus, D. G.; Wallrabe, U.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2004
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230058434
HGF-Programm	41.04.01 (POF I, LK 01) Nachrichtentechnik
Erscheinungsvermerk	Photonics Europe - Showcasing the Age of Light, Strasbourg, F, April 26-30, 2004