Kombinierter Einsatz von HF-Magnetronsputtern und Ionenstrahlsynthese zur Herstellung stöchiometrischer Si-C-N-Schichten

Trouillet, V.; Rudolphi, M.; Baumann, H.; Geckle, U.; Bruns, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2004
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230058625
HGF-Programm	41.05.01 (POF I, LK 01) MOX-Sensoren
Erscheinungsvermerk	13.Arbeitstagung für Angewandte Oberflächenanalytik (AOFA13), Dresden, September 14-17, 2004