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Planar sets of cross X-ray refractive lenses from SU-8 polymer

Nazmov, V.; Reznikova, E.; Somogyi, A.; Mohr, J.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230058858
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk SPIE 49th Annual Meeting, Denver, Colo., August 2-6, 2004
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