Planar sets of cross X-ray refractive lenses from SU-8 polymer

Nazmov, V.; Reznikova, E.; Somogyi, A.; Mohr, J.; Saile, V.

Seitenaufrufe: 17
seit 01.05.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2004
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230058858
HGF-Programm	41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE
Erscheinungsvermerk	SPIE 49th Annual Meeting, Denver, Colo., August 2-6, 2004