Improvements in X-ray masks for optical structures produced by electron beam lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230058860 |
| HGF-Programm | 41.04.01 (POF I, LK 01) Nachrichtentechnik |
| Erscheinungsvermerk | 10th Microoptics Conf.(MOC'04), Jena, September 1-3, 2004 |