Verbesserungen in der Mikrogalvanoformung für die reproduzierbare Fertigung von mikrostrukturierten Werkzeugen

; Matthis, B.; Winkler, F.; Schulz, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2004
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230058898
HGF-Programm	41.01.02 (POF I, LK 01) Laser-u.mechanische Mikrostrukturierung
Erscheinungsvermerk	Messe SURFACTS : Oberflächentechnik für metallische Werkstoffe und metallisierende Kunststoffe, Karlsruhe, 5.-7.Oktober 2004