Micro and nano-patterning of metals and polymers: cooperation between research and industry
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230058899 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Erscheinungsvermerk | Fall Meeting of the Photo Chemical Machining Institute (PCMI), Glasgow, GB, September 27-29, 2004 |