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Micro and nano-patterning of metals and polymers: cooperation between research and industry

Bacher, W.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230058899
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk Fall Meeting of the Photo Chemical Machining Institute (PCMI), Glasgow, GB, September 27-29, 2004
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