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UV degradation supported bonding of polymer micro- and nanostructures

Truckenmüller, R.; Henzi, P.; Herrmann, D.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230058903
HGF-Programm 41.09.02 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk European Conf.on UV Radiation, Effects and Technologies, Karlsruhe, September 22-24, 2004
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