Verbesserungen in der Mikrogalvanoformung für die reproduzierbare Fertigung von mikrostrukturierten Werkzeugen
Guttmann, M.; Bade, K.
; Matthis, B.; Winkler, F.; Schulz, J.
; Matthis, B.; Winkler, F.; Schulz, J.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230058904 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (POF I, LK 01) Laser-u.mechanische Mikrostrukturierung |
| Erscheinungsvermerk | Jahrestagung der Fachgruppe Angewandte Elektrochemie der Gesellschaft Deutscher Chemiker, Graz, A, 8.-10.September 2004 |