Verbesserungen in der Mikrogalvanoformung für die reproduzierbare Fertigung von mikrostrukturierten Werkzeugen

; Matthis, B.; Winkler, F.; Schulz, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2004
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230058904
HGF-Programm	41.01.02 (POF I, LK 01) Laser-u.mechanische Mikrostrukturierung
Erscheinungsvermerk	Jahrestagung der Fachgruppe Angewandte Elektrochemie der Gesellschaft Deutscher Chemiker, Graz, A, 8.-10.September 2004