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Micro- und nanotechnologies for device fabrication

Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230059377
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk Nanofair 2004, Karlsruhe, 23.-24.November 2004
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