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UV-induced modification of dielectric properties of polymers for fabrication of passive planar lightwave circuits

Henzi, P.; Rabus, D.G.; Wallrabe, U.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230059378
HGF-Programm 41.04.01 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk 17th Annual IEEE/LEOS Meeting, Rio Grande, Puerto Rico, November 7-11, 2004
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