UV-induced modification of dielectric properties of polymers for fabrication of passive planar lightwave circuits

Henzi, P.; Rabus, D. G.; Wallrabe, U.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2004
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230059378
HGF-Programm	41.04.01 (POF I, LK 01) Nachrichtentechnik
Erscheinungsvermerk	17th Annual IEEE/LEOS Meeting, Rio Grande, Puerto Rico, November 7-11, 2004