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New trends in surface engineering: a route towards integrated hybrid thin film deposition methods

Ulrich, S.; Stüber, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230059508
HGF-Programm 42.02.02 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk 9th Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, September 13-17, 2004 (Poster)
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