New trends in surface engineering: a route towards integrated hybrid thin film deposition methods
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230059508 |
| HGF-Programm | 42.02.02 (POF I, LK 01) Nanoskalige Schichtsysteme u.Oberflächen |
| Erscheinungsvermerk | 9th Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, September 13-17, 2004 (Poster) |