Optical microscanner with large deflection angle
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230060259 |
| HGF-Programm | 41.04.01 (POF I, LK 01) Nachrichtentechnik |
| Erscheinungsvermerk | 18th IEEE Internat.Conf.on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2005), Miami, Fla., January 30 - February 3, 2005 |