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Optical microscanner with large deflection angle

Brugger, D.; Kohl, M.; Krevet, B.; Winzek, B.; Schmitz, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230060259
HGF-Programm 41.04.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 18th IEEE Internat.Conf.on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2005), Miami, Fla., January 30 - February 3, 2005
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