| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230060260 |
| HGF-Programm | 41.03.01 (POF I, LK 01) Auslegungsgrundl.f.Mikrostrukturapp. |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Fraunhofer Institut für Fertigungstechnik und angewandte Materialforschung, Dresden, 25.Februar 2005 |