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Measurements of true 3D micro structures: performance optimization of high precision equipment by DoE

Moritz, H.; Thelen, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230060371
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Internat.Workshop on Advanced Methodologies for Robust Design, Napoli, I, February 23, 2005
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