Measurements of true 3D micro structures: performance optimization of high precision equipment by DoE
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230060371 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Erscheinungsvermerk | Internat.Workshop on Advanced Methodologies for Robust Design, Napoli, I, February 23, 2005 |