Reliability of MEMS: experiments and modelling
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230060444 |
| HGF-Programm | 41.02.03 (POF I, LK 01) Zuverlässigkeit, Werkstoffprüfung |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Sandia National Laboratory, Livermore, Calif., 21.Februar 2005 |