Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230060531 |
HGF-Programm | 42.02.02 (POF I, LK 01) Nanoskalige Schichtsysteme u.Oberflächen |
Erscheinungsvermerk | 12.Bundesdeutsche Fachtagung Plasmatechnologie der Deutschen Gesellschaft für Plasmatechnologie, Braunschweig, 21.-23.März 2005 (Poster) |