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Auf der Suche nach dem Mikrometer: Grenzen der optischen Vermessung von Mikrostrukturen

Thelen, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2005
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230060540
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 12.FIF-Workshop für Mitglieder, Karlsruhe, 17.-18.März 2005
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