Auf der Suche nach dem Mikrometer: Grenzen der optischen Vermessung von Mikrostrukturen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230060540 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Erscheinungsvermerk | 12.FIF-Workshop für Mitglieder, Karlsruhe, 17.-18.März 2005 |