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Reproduzierbare Fertigung von LIGA-Formeinsätzen. Stand der Technik am IMT

Guttmann, M. ORCID iD icon; Börner, M.; Hahn, L.; Matthis, B.; Schulz, J. ORCID iD icon; Winkler, F.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2005
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230060541
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE
Erscheinungsvermerk Dornbirner Mikrotechniktage, Dornbirn, A, 22.-23.März 2005
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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