Reproduzierbare Fertigung von LIGA-Formeinsätzen. Stand der Technik am IMT
Guttmann, M.
; Börner, M.; Hahn, L.; Matthis, B.; Schulz, J.
; Winkler, F.
; Börner, M.; Hahn, L.; Matthis, B.; Schulz, J.
; Winkler, F.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230060541 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Erscheinungsvermerk | Dornbirner Mikrotechniktage, Dornbirn, A, 22.-23.März 2005 |