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Reproduzierbare Fertigung von LIGA-Formeinsätzen. Stand der Technik am IMT

Guttmann, M.; Börner, M.; Hahn, L.; Matthis, B.; Schulz, J.; Winkler, F.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2005
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230060541
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Dornbirner Mikrotechniktage, Dornbirn, A, 22.-23.März 2005
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