Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 230060541 |
HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
Erscheinungsvermerk | Dornbirner Mikrotechniktage, Dornbirn, A, 22.-23.März 2005 |