Reproduzierbare Fertigung von LIGA-Formeinsätzen. Stand der Technik am IMT

; Börner, M.; Hahn, L.; Matthis, B.; Schulz, J.

; Winkler, F.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2005
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230060541
HGF-Programm	41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE
Erscheinungsvermerk	Dornbirner Mikrotechniktage, Dornbirn, A, 22.-23.März 2005