KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Aspects of high precision 3D-measurement with reference to LIGA product requirements

Thelen, R.; Meyer, P.; Janssen, A.; Schulz, J.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230060805
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Vortr.: Physikalisch Technische Bundesanstalt, Braunschweig, 18.April 2005
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page