Aspects of high precision 3D-measurement with reference to LIGA product requirements
Thelen, R.; Meyer, P.; Janssen, A.; Schulz, J.
; Saile, V.
; Saile, V.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230060805 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Physikalisch Technische Bundesanstalt, Braunschweig, 18.April 2005 |