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Aspects of high precision 3D-measurement with reference to LIGA product requirements

Thelen, R.; Meyer, P.; Janssen, A.; Schulz, J.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230060805
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE
Erscheinungsvermerk Vortr.: Physikalisch Technische Bundesanstalt, Braunschweig, 18.April 2005
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