Why use LIGA technology to produce MEMS?
Meyer, P.
; Janssen, A.; Schulz, J.
; Guttmann, M.
; Thelen, R.; Arendt, M.; Fichtner, H. J.; Hesse, P.; Ritter, V.
; Janssen, A.; Schulz, J.
; Guttmann, M.
; Thelen, R.; Arendt, M.; Fichtner, H. J.; Hesse, P.; Ritter, V.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230061164 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Erscheinungsvermerk | 5th Internat.Conf.and 7th Annual General Meeting of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (EUSPEN), Montpellier, F, May 8-11, 2005 |