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Why use LIGA technology to produce MEMS?

Meyer, P.; Janssen, A.; Schulz, J.; Guttmann, M.; Thelen, R.; Arendt, M.; Fichtner, H.J.; Hesse, P.; Ritter, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230061164
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 5th Internat.Conf.and 7th Annual General Meeting of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (EUSPEN), Montpellier, F, May 8-11, 2005
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