Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230061164 |
HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
Erscheinungsvermerk | 5th Internat.Conf.and 7th Annual General Meeting of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (EUSPEN), Montpellier, F, May 8-11, 2005 |