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Residual gas analyzers as total pressure gauges

Maskell, M.; Adderley, P.; Brucker, G.A.; Day, C.; Myneni, G.R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Technische Physik (ITEP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230061277
HGF-Programm 51.54.01; LK 01
Erscheinungsvermerk American Vacuum Society 52nd Internat.Symp.and Exhibition, Boston, Mass., October 30 - November 4, 2005
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