Confocal micro-optical distance sensor: principle and design

Ruprecht, A. K.; Pruss, C.; Tiziani, H. J.; Osten, W.; Lücke, P.; Last, A.; Mohr, J.; Lehmann, P.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2005
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230061876
HGF-Programm	41.04.02 (POF I, LK 01) Sensorik
Erscheinungsvermerk	SPIE Internat.Symp.Optical Metrology 2005, München, June 13-17, 2005