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Confocal micro-optical distance sensor: principle and design

Ruprecht, A.K.; Pruss, C.; Tiziani, H.J.; Osten, W.; Lücke, P.; Last, A.; Mohr, J.; Lehmann, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230061876
HGF-Programm 41.04.02; LK 01
Erscheinungsvermerk SPIE Internat.Symp.Optical Metrology 2005, München, June 13-17, 2005
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