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Confocal micro-optical distance sensor: principle and design

Ruprecht, A. K.; Pruss, C.; Tiziani, H. J.; Osten, W.; Lücke, P.; Last, A.; Mohr, J.; Lehmann, P.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230061876
HGF-Programm 41.04.02 (POF I, LK 01) Sensorik
Erscheinungsvermerk SPIE Internat.Symp.Optical Metrology 2005, München, June 13-17, 2005
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