Focused ion beam micro-machining
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230062009 |
| HGF-Programm | 42.02.03 (POF I, LK 01) Nanostrukturierte Festkörper |
| Erscheinungsvermerk | Microscopy Conf., Davos, CH, August 28 - September 2, 2005 |