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Surface analytical characterization of Si-C-N thin films with tailored composition on the tie line SiC-Si₃N₄

Bruns, M.; Geckle, U.; Trouillet, V.; Rudolphi, M.; Baumann, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230062157
HGF-Programm 41.05.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 11th European Conf.on Applications of Surface and Interface Analysis (ECASIA'05), Wien, A, September 25-30, 2005
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