Surface analytical characterization of Si-C-N thin films with tailored composition on the tie line SiC-Si₃N₄
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230062157 |
| HGF-Programm | 41.05.01 (POF I, LK 01) MOX-Sensoren |
| Erscheinungsvermerk | 11th European Conf.on Applications of Surface and Interface Analysis (ECASIA'05), Wien, A, September 25-30, 2005 |