2 DOF optical microscanner with large deflection angles

Brugger, D.; Kohl, M.; Krevet, B.; Winzek, B.; Schmitz, S.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2005
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230062211
HGF-Programm	41.08.01 (POF I, LK 01) Telekommunikation
Erscheinungsvermerk	IEEE/LEOS Internat.Conf.on Opitical MEMS and their Applications, Oulu, SF, August 1-4, 2005