KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

2 DOF optical microscanner with large deflection angles

Brugger, D.; Kohl, M.; Krevet, B.; Winzek, B.; Schmitz, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230062211
HGF-Programm 41.08.01; LK 01
Erscheinungsvermerk IEEE/LEOS Internat.Conf.on Opitical MEMS and their Applications, Oulu, SF, August 1-4, 2005
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page