Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230062357 |
HGF-Programm | 41.04.03 (POF I, LK 01) Modellierung und Zuverlässigkeit |
Erscheinungsvermerk | Maschinenbau von Mikro bis Nano : 50.Internat.Wissenschaftliches Kolloquium, Technische Universität Ilmenau, 19.-22.September 2005 Book of Abstracts |