Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 230062361 |
HGF-Programm | 41.01.04 (POF I, LK 01) Metallabscheidung |
Erscheinungsvermerk | 43.Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für Galvano- und Oberflächentechnik (DGO), Innsbruck, 21.-23.September 2005 |