| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230062363 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (POF I, LK 01) Membrantechnologie |
| Erscheinungsvermerk | Micro System Technology 2005, München, October 5-6, 2005 |