Depth resolved characterization of thick, oxygen-containing cubic boron nitride coatings
Ulrich, S.; Ye, J.; Ziebert, C.
; Nold, E.; Stüber, M.; Leiste, H.
; Nold, E.; Stüber, M.; Leiste, H.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230062593 |
| HGF-Programm | 42.02.02 (POF I, LK 01) Nanoskalige Schichtsysteme u.Oberflächen |
| Erscheinungsvermerk | 5th Asian-European Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering (AEPSE'2005), Qingdao, China, September 12-16, 2005 |