Fabrication of novel polymer waveguides consisting of alicyclic methacrylate copolymers by deep UV exposure

Ichihashi, Y.; Henzi, P.; Bründel, M.; Rabus, D. G.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2005
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230062600
HGF-Programm	41.04.01 (POF I, LK 01) Nachrichtentechnik
Erscheinungsvermerk	11th Microoptics Conf. (MOC'05), Tokyo, J, October 31 - November 2, 2005