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Fabrication of novel polymer waveguides consisting of alicyclic methacrylate copolymers by deep UV exposure

Ichihashi, Y.; Henzi, P.; Bründel, M.; Rabus, D.G.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230062600
HGF-Programm 41.04.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 11th Microoptics Conf. (MOC'05), Tokyo, J, October 31 - November 2, 2005
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