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Design and realization of a confocal micro optical distance sensor

Lücke, P.; Last, A.; Mohr, J.; Ruprecht, A.K.; Pruss, C.; Tiziani, H.J.; Osten, W.; Lehmann, P.; Schönfelder, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230062601
HGF-Programm 41.04.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 11th Microoptics Conf. (MOC'05), Tokyo, J, October 31 - November 2, 2005
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