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Characterization of nanoscale ceramic gradient coatings for gas analytical microdevices

Bruns, M.; Trouillet, V.; Müller, H.; Nold, E.; White, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230062645
HGF-Programm 41.05.01; LK 01
Erscheinungsvermerk American Vacuum Society 52nd Internat.Symp.and Exhibition, Boston, Mass., October 30 - November 4, 2005
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