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LIGA and related technologies for micro optical and micro fluidic components. Recent achievements and cooperation strategies

Bacher, W.; Messing, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230062791
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk Micromachine Exhibition 2005, Tokyo, J, November 9-11, 2005
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