LIGA and related technologies for micro optical and micro fluidic components. Recent achievements and cooperation strategies
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230062791 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Erscheinungsvermerk | Micromachine Exhibition 2005, Tokyo, J, November 9-11, 2005 |