Das Programm Nano- und Mikrosysteme im Forschungszentrum Karlsruhe
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Nano- und Mikrosysteme (NANOMIKRO) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230062926 |
| HGF-Programm | 41.98.01 (POF I, LK 01) Programmleitung MIKRO |
| Erscheinungsvermerk | 2.Kongreß-Fachmesse für Mikrosystemtechnik und Ultrapräzisionsfertigung, Sinsheim, 26.-29.April 2005 |