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Zuverlässigkeitsanalyse von PolySi-Mikrobauteilen mit STAU

Härtelt, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2006
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230064181
HGF-Programm 43.01.05; LK 01
Erscheinungsvermerk 1.Doktorandenseminar des virtuellen Instituts Mikrosystemtechnik, Bad Herrenalb, 2.-3.März 2006
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