Zuverlässigkeitsanalyse von PolySi-Mikrobauteilen mit STAU
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230064181 |
| HGF-Programm | 43.01.05 (POF I, LK 01) Charakterisierung u.Zuverlässigkeit |
| Erscheinungsvermerk | 1.Doktorandenseminar des virtuellen Instituts Mikrosystemtechnik, Bad Herrenalb, 2.-3.März 2006 |