Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2006 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230064489 |
HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
Erscheinungsvermerk | Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2006), Symp., Stresa, I, April 26-28, 2006 |