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LIGA technology for R&D and industrial applications

Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230064647
HGF-Programm 43.01.06; LK 01
Erscheinungsvermerk Vortr.: Diamond Light Source Ltd., Didcot, GB, 21.April 2006
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