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LIGA technology for R&D and industrial applications

Saile, V.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230064647
HGF-Programm 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Erscheinungsvermerk Vortr.: Diamond Light Source Ltd., Didcot, GB, 21.April 2006
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