Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2006 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230064778 |
HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
Erscheinungsvermerk | 6th Internat.Conf.of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (EUSPEN), Baden, A, May 28 - June 1, 2006 |