LIGA vertical cantilever RF-MEMS capacitor. First actuation and results

Klymyshyn, D. M.; Haluzan, D. T.; Achenbach, S.; Börner, M.; Mohr, J.; Mappes, T.; Wells, G.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2006
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230064780
HGF-Programm	55.51.01 (POF I, LK 02)
Erscheinungsvermerk	Internat.Microwave Symp. (IMS 2006), San Francisco, Calif., June 11-16, 2006