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LIGA vertical cantilever RF-MEMS capacitor. First actuation and results

Klymyshyn, D.M.; Haluzan, D.T.; Achenbach, S.; Börner, M.; Mohr, J.; Mappes, T.; Wells, G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230064780
HGF-Programm 55.51.01; LK 02
Erscheinungsvermerk Internat.Microwave Symp. (IMS 2006), San Francisco, Calif., June 11-16, 2006
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