Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Festkörperphysik (IFP) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2006 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230064881 |
HGF-Programm | 43.01.01 (POF I, LK 01) Lithographie |
Erscheinungsvermerk | Internat.Conf.on Nanoscience and Technology (ICN+T), Basel, CH, July 30 - August 4, 2006 |