Fatigue failure of metal thin films in MEMS
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230065235 |
| HGF-Programm | 43.04.03 (POF I, LK 01) Röntgenoptik |
| Erscheinungsvermerk | TMS Annual Meeting, Symp.on Mechanical Behavior of Thin Films and Small Structures, San Francisco, Calif., February 13-17, 2005 |