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Fatigue failure of metal thin films in MEMS

Kraft, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230065235
HGF-Programm 43.04.03; LK 01
Erscheinungsvermerk TMS Annual Meeting, Symp.on Mechanical Behavior of Thin Films and Small Structures, San Francisco, Calif., February 13-17, 2005
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