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Focused ion beam microscopy for characterisation and micro-machining

Volkert, C. A.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230065350
HGF-Programm 43.04.03 (POF I, LK 01) Röntgenoptik
Erscheinungsvermerk Micro Science 2006, London, GB, June 27-29, 2006
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