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Nitrogen dependence of constitution and mechanical properties of sputtered nanocrystalline SiCN films studied by XRD, AFM, TEM and NI

Ziebert, C.; Ye, J.; Stüber, M.; Ulrich, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230065536
HGF-Programm 43.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Spring Meeting of the European Materials Research Society, Nice, F, May 29 - June 2, 2006 (Poster)
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