Nitrogen dependence of constitution and mechanical properties of sputtered nanocrystalline SiCN films studied by XRD, AFM, TEM and NI
Ziebert, C.
; Ye, J.; Stüber, M.; Ulrich, S.
; Ye, J.; Stüber, M.; Ulrich, S.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230065536 |
| HGF-Programm | 43.03.03 (POF I, LK 01) Grenzflächenabhängige Eigenschaften |
| Erscheinungsvermerk | Spring Meeting of the European Materials Research Society, Nice, F, May 29 - June 2, 2006 (Poster) |