KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Constitution and mechanical properties of sputtered films in the system Si-C-N studied by XRD, AFM, TEM, NI and molecular dynamics simulation

Ziebert, C.; Ulrich, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230065537
HGF-Programm 43.03.03 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk 10th Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering (PSE 2006), Garmisch-Partenkirchen, September 11-15, 2006
Externe Relationen Abstract/Volltext
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page