Constitution and mechanical properties of sputtered films in the system Si-C-N studied by XRD, AFM, TEM, NI and molecular dynamics simulation
Ziebert, C.
; Ulrich, S.
; Ulrich, S.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230065537 |
| HGF-Programm | 43.03.03 (POF I, LK 01) Grenzflächenabhängige Eigenschaften |
| Erscheinungsvermerk | 10th Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering (PSE 2006), Garmisch-Partenkirchen, September 11-15, 2006 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |