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Launching into a golden age (3) - gears for micromotors made by LIG(A) process

Meyer, P.; Klein, O.; Arendt, M.; Saile, V.; Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230065595
HGF-Programm 43.01.06; LK 01
Erscheinungsvermerk 11th Annual Internat.Conf.of Micro and Nano Systems (COMS 2006), St.Petersburg, Fla., August 27-31, 2006
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