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HAMRST and LIGA at FZK

Saile, V.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230065669
HGF-Programm 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme
Erscheinungsvermerk 11th Annual Internat.Conf.of Micro and Nano Systems (COMS 2006), St.Petersburg, Fla., August 27-31, 2006
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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