HAMRST and LIGA at FZK
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230065669 |
| HGF-Programm | 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme |
| Erscheinungsvermerk | 11th Annual Internat.Conf.of Micro and Nano Systems (COMS 2006), St.Petersburg, Fla., August 27-31, 2006 |