Manufacture of recessed rotating microelectrodes for mass transport investigations in the LIGA process
Lisinenkova, M.; Hahn, L.; Schulz, J.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230065672 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Erscheinungsvermerk | Conf.on Multi-Material Micro Manufacture (4M 2006), Grenoble, F, September 20-22, 2006 |