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Manufacture of recessed rotating microelectrodes for mass transport investigations in the LIGA process

Lisinenkova, M.; Hahn, L.; Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230065672
HGF-Programm 43.01.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Conf.on Multi-Material Micro Manufacture (4M 2006), Grenoble, F, September 20-22, 2006
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