Hot embossing of micro-optical devices

Mehne, C.; Bruendel, M.; Mohr, J.; Heckele, M.; Taghizadeh, M. R.; Waddie, A. J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2006
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230066138
HGF-Programm	43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation
Erscheinungsvermerk	Annual Meeting of the European Optical Society (EOS), Paris, F, October 16-19, 2006