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Hot embossing of micro-optical devices

Mehne, C.; Bruendel, M.; Mohr, J.; Heckele, M.; Taghizadeh, M.R.; Waddie, A.J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230066138
HGF-Programm 43.01.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Annual Meeting of the European Optical Society (EOS), Paris, F, October 16-19, 2006
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