Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2006 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230066196 |
HGF-Programm | 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
Erscheinungsvermerk | Exhibition Micromachine 2006 : 17th Internat.Tradeshow for Micro/MEMS and Nanotechnologies, Tokyo, J, November 7-9, 2006 |