Microsystem technology R&D at Forschungszentrum Karlsruhe/IMT
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230066203 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Tohoku University, Sendai, J, 13.November 2006 Vortr.: University of Hyogo, Himeji, J, 15.November 2006 |