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Microsystem technology R&D at Forschungszentrum Karlsruhe/IMT

Bacher, W.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2006
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230066203
HGF-Programm 43.01.03 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk Vortr.: Tohoku University, Sendai, J, 13.November 2006 Vortr.: University of Hyogo, Himeji, J, 15.November 2006
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